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我自主研发出放大倍数可达150000倍量子扫描电镜

记者12月2日从无锡市前洲街道办事处获悉, 无锡量子感知研究所与国仪量子科研团队,通过几年的连续攻关,成功研发出具有自主知识产权、放大倍数可达150000倍的量子扫描电镜SEM3000,今后将重点应用于科研和工业相关领域中的基础研究和应用研究。

无锡量子感知研究所电镜中心相关负责人介绍,扫描电子显微镜的原理是利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构等,广泛应用于材料科学、生命科学、化学、物理、地质矿物学、电子学、食品科学领域的研究,也用于半导体生产、陶瓷、化工、石油等产业领域。

记者了解到,目前,我国的扫描电子显微镜主要依靠进口,国产扫描电镜产品已经被严重边缘化。国外几大厂商联手垄断,多年来严重制约着中国自身电镜市场的培养和制造业产业升级的需要。面对行业现状和基础研究和应用研究需求,无锡量子感知研究所、国仪量子抓住契机,加大科研投入,组成由多学科专家参与的研发团队,自主研发出完全国产化的SEM3000系列扫描电镜,引领我国电镜行业的良性发展。

专家介绍,扫描电镜SEM3000是一款使用钨灯丝的高性价比扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构,放大倍数可达20000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率优于25nm,在自动五轴样品台的配合下,非常适用于生产品质控制及样品筛选,适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。


“扫描电镜SEM3000S的放大倍数可达150000倍,基于优秀的电子光路设计及新型聚焦系统,其分辨率轻松优于10nm。”国仪量子总经理贺羽说,在100mm全自动五轴样品台的配合下,它是科研及新材料研发的得力助手。

过国忠摄 




    来源:科技日报